設(shè)備特點

GNX300B擁有BG研磨專利技術(shù)。

日本機(jī)械學(xué)會授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎

主軸機(jī)械精度可調(diào)

岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化

潤滑系統(tǒng)有完善防護(hù)，避免異物進(jìn)入造成磨損

適用晶圓尺寸：6”、8”、12”     最大晶圓厚度： 1000μm

可切換全自動、半自動操作模式

17 寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等

研磨耗材損耗小，加工成本低廉

研磨硅屑細(xì)小，沖洗更干凈

設(shè)備規(guī)格