設備概要

SPP-600S 是半自動通用拋光型設備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭，可實現(xiàn)高的吞吐量。它具有*特的軟件和觸摸屏，使用操作方便。

設備構成

1. 拋光頭：

    一個定盤，兩個拋光頭同時工作，可實現(xiàn)高的吞吐量；

    可獨立編程（包括轉(zhuǎn)速）并單獨控制每個拋光頭；

    夾緊機構為真空吸附固定或利用晶圓表面張力進行固定；

    裝備有保護圈以*均勻性和邊緣輪廓；拋光壓力基于實時監(jiān)控；

    具有擺動功能；

2. 定盤：水冷系統(tǒng)可*穩(wěn)定運行

3. 修整主軸：裝有*修整頭；修整壓力靠頭的自重；

4. 外殼：全密封；安全互鎖門；

5. 觸摸屏：9.5 寸全彩屏；GUI 操作面板；4 級程序控制；

6. 供液單元：使用羅拉泵可實現(xiàn)穩(wěn)定供液。

設備指標